新製品紹介
高機能DCスパッタリング電源
                     仕様概要
                               入力:3相200V
                               出力:DC800V/50A/20kWmax
                               イグニション電圧:1100V
                 特長
                               小型化:弊社従来品比約1/2
                               3Uラック、H132×R482×700(mm)
                               高機能:FPGAによるプログラムアーク処理
                               柔軟なアーク処理
                               低アークエネルギー
                用途
                               液晶パネル製膜
                               太陽電池パネル製膜
                               半導体製膜